Las características principales de ARC-500 son tiempos de ciclo rápidos, fácil operación y facilidad de uso a un precio favorable.Tiene cuatro cátodos de evaporación por arco catódico de alto rendimiento.Es la opción ideal para los clientes que buscan ingresar al mundo del recubrimiento o que desean agregar un sistema PVD rápido de bajo volumen a su flota de máquinas.
Tecnologías aplicadas:
Cátodos de evaporación por arco catódico
ventajas:
Alta utilización objetivo
Alta tasa de deposición
Intercambio rápido de cátodos
• Estructura general: puerta frontal vertical, puerta frontal horizontal, sistema de bombeo de vacío trasero
• Materiales: La cavidad está hecha de acero inoxidable SUS304 de alta calidad
• Fuente de arco de iones: Equipada con múltiples conjuntos de fuente de alimentación de arco según el tamaño del equipo
• Fuente de alimentación de polarización: Equipada con una fuente de alimentación de polarización de pulso de etapa única de alta potencia
• Objetivos multiarco: Múltiples conjuntos de objetivos de titanio o acero inoxidable como estándar
• Sistema rotativo: Regulación de velocidad de frecuencia variable, combinación de revolución y rotación, transmisión superior o transmisión inferior.
• Sistema de vacío (Equipo de revestimiento decorativo): Bomba de difusión (bomba molecular opcional) + bomba Roots + bomba mecánica
• Control de gas: sistema de control de flujo másico de gas de múltiples vías
• Sistema de calefacción: revestimiento decorativo 150 ℃ control de temperatura PID ajustable y controlable
• Control inteligente: control inteligente PLC + interfaz táctil a todo color HMI, para lograr un control lógico completamente automático
• Alarma y protección: Alarma en condiciones anormales e implementación de las medidas de protección correspondientes.
máx.carga: 100kg
4 - 6 lotes/día
SISTEMAS MODULARES DE CARRUSEL:
Carrusel de pateador de doble rotación o sistema de caja de cambios de triple rotación
SOFTWARE:
Uso y mantenimiento sencillos
Sistema de control con pantalla táctil
Registro de datos y visualización en tiempo real de los parámetros y el flujo del proceso
Control de procesos manual y automático.
DIMENSIONES DE LA MÁQUINA:
Huella [mm]: L2300 x W1600 x H1950