Sistema de pulverización catódica en línea
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Sistema de pulverización catódica de magnetrón en línea
El sistema de pulverización catódica de magnetrón en línea es un tipo de equipo de deposición de película delgada al vacío que funciona para diferentes propósitos.Las aplicaciones más comunes de nuestra línea de pulverización incluyen:
fabricación de espejos de aluminio
- revestimiento de vidrio ITO
- Vidrio antirreflectante
- Recubrimientos decorativos para acero inoxidable y vidrio
Este sistema de recubrimiento es adecuado para aplicaciones de recubrimiento al vacío de clase alta.Produce un rendimiento de trabajo estable para mejorar la calidad de las películas de recubrimiento al vacío.
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Línea de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de vidrio ITO
La línea de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de vidrio ITO adopta la tecnología de pulverización catódica con magnetrón al vacío y la tecnología de pulverización catódica con magnetrón desequilibrado para recubrir vidrio flotado de alta calidad con una capa de SO2/ITO.Basado en el sistema de control avanzado internacional.Todo el proceso de fabricación funciona de forma automática y continua.
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Línea de pulverización catódica de magnetrón en línea con espejo de aluminio
La línea de pulverización catódica de magnetrón en línea con espejo de aluminio está diseñada para un alto rendimiento en la fabricación de espejos de vidrio.Para recubrir vidrio más grande y cuidar el panel de vidrio frágil, especialmente para las láminas de gran tamaño, generalmente hacemos una línea de pulverización de tipo horizontal.Es una línea continua de revestimiento de magnetrón, con cámara de bombeo en bruto delantera y trasera, y después de la cámara de transición, antes y después de la cámara de bombeo fino, una cámara de amortiguación, sala de recubrimiento de color.
Diseño del objetivo: cátodos de pulverización catódica de magnetrón cilíndrico y/o cátodos planos.
Fuente de alimentación: fuente de alimentación con pulverización catódica de magnetrón DC o MF de alta potencia
Sistema de accionamiento: accionamiento de rodillos, frecuencia ajustable, sistema de apertura de puerta de habitación de tipo inducción.
Sistema de vacío: bomba de difusión (o bomba turbomolecular) + bomba de raíces + bomba mecánica
