Línea de pulverización catódica de magnetrón en línea con espejo de aluminio
Principales características
- La línea de pulverización catódica de magnetrón en línea con espejo de aluminio generalmente viene con múltiples cámaras de vacío para completar el recubrimiento al vacío en láminas de vidrio.
- Principales características:
- 1. Tamaño máximo de revestimiento de vidrio: 2440x3660 mm o personalizado
- 2. Hay disponibles cámaras de vacío múltiple y diseño de cámara de pulverización múltiple
- 3. La línea de control magnético horizontal tiene una estructura de un solo extremo y de dos extremos;La limpieza doble del vidrio, el recubrimiento, la detección, la pintura, el secado y el enfriamiento se pueden terminar al mismo tiempo
- 4. La línea de recubrimiento por pulverización catódica utiliza PLC para el control de todo el proceso y está equipada con una pantalla a color para mostrar los datos del proceso de recubrimiento.
Capa de recubrimientos: Titanio, Cromo, Acero Inoxidable, Aluminio, Plata, Cobre, etc.
- Compuesto: TiN, TiO2, etc.
- Grosor de la capa: 5-100nm
- Transmisión: 8-40% a longitudes de onda de 380-780 nm
- Temperatura de deposición: temperatura ambiente
- Presión máxima después de 8 horas de bombeo:
- Cámara de bloqueo de entrada y cámara de bloqueo de vacío: 5 × 10-1 Pa o menos
- Cámara de amortiguación 1: 3 × 10-3 Pa o inferior
- Cámara de pulverización catódica: 2×10-3 Pa o inferior
- Cámara tampón 2: 3 × 10-3 Pa o inferior
- Cámara de bloqueo de salida y cámara de bloqueo de vacío: 5 × 10-1 Pa o menos
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