-Una/Dos Puertas
El marco y la cámara están hechos de acero inoxidable al carbono.
Cada puerta proporciona una ventana de inspección para el control visual del proceso.Las paredes de la puerta cuentan con un revestimiento de acero inoxidable que se quita fácilmente para el mantenimiento.
-Cámara de vacío personalizada
La cámara proporciona revestimientos internos de acero inoxidable que se quitan fácilmente para su limpieza.
Las bombas se apoyan en su parte trasera.
La cámara tiene una serie de pequeñas bridas con el propósito de medir.
-Sistema de bombeo de alto vacío
Bomba de difusión+bomba de refuerzo+bomba mecánica
-Medición y control de vacío
Con indicador Pirani de metal+indicador de ionización de metal
-Sistema de movimiento de accesorios
-Unidad de control PLC
-Sistema de evaporación de aluminio con transformador de alta potencia
-Marco de hierro
La estructura es razonable.
La capa de película es uniforme.
Calidad de formación de película
Alta velocidad de bombeo, ciclo de trabajo corto y alta eficiencia productiva
La operación es conveniente
Bajo consumo de energía y rendimiento estable
Número de modelo | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | El modelo de dos puertas o de dos cámaras está disponible | |
Dimensión de la cámara de vacío (diámetro * altura) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material de la cámara de vacío | Acero al carbono, SUS304 o SUS316L | ||||||
tecnologia de trabajo | evaporación de resistencia al vacío con filamentos de tungsteno y aluminio, transformador de evaporación de alta potencia | ||||||
Sistema de bombeo | Bomba de difusión+bombas mecánicas, bomba de refuerzo | ||||||
Tiempo de bombeo | De la atmósfera a 5.0*10-2Pa menos de 8 minutos | ||||||
Límite de vacío | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura de trabajo | Temperatura ambiente | ||||||
Modo de trabajo | Modo Automático o Manual, mediante pantalla táctil PLC de 10,4 pulgadas | ||||||
Poder total | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Huella | 2*2 metros | 2*3 metros | 3*3 metros | 3*3 metros | 3*4 metros | 4*5 metros | 5*6 metros |
Estas unidades se pueden personalizar | 1. Tamaño de la cámara de vacío 2. Configuraciones de bombas | ||||||
Instrumentos opcionales | 1. Detector de fugas 3. Sistema de deposición de iones de arco 4. Sistema de pulverización catódica Magntron |